事實上,在科研和生產中都能見到一些專 用的氣浮台設備,這些(xiē)專 用設備在使用過程中能有效地(dì)保證其精 確度(dù),與機械式轉台相比,氣(qì)浮台作用更大,能更好的保證精度,但見過(guò)許多設備之後,大概不知(zhī)道它到底有什麽優點,我(wǒ)想看(kàn)看這個氣浮轉台是什麽?
氣浮轉台是利用軸承腔內空氣壓力導入,使轉軸懸浮於空(kōng)氣中,並(bìng)能平(píng)滑旋轉,使轉軸在空氣中(zhōng)懸浮,通過軸承腔引入空氣壓力,使導(dǎo)流間隙特別小,保證(zhèng)轉軸(zhóu)懸浮,從而獲得較高的軸向和徑(jìng)向跳動誤差。高速、高精度、無摩擦(cā)、無磨損、不潤滑、速(sù)度(dù)穩定、無噪(zào)音。氣浮轉盤具有許(xǔ)多優點,越來越多地使用氣浮式軸承來代替傳統的機械軸(zhóu)承。
氣浮轉台作為一(yī)種典型的超精密機械,從誕生(shēng)起就受到了(le)人們的廣泛關注,其中包括微光刻技術、數控加工、生命科技、納米麵形測(cè)量,高精密機(jī)床(chuáng)研發等領域,是超精密定位、探測及精 確移動載體平台,為超精密加工(gōng)工(gōng)藝技術的研(yán)究開發拓展了(le)一個領域,可以很好的解決高精度零件的加(jiā)工、檢驗等問題(tí)。
具有多(duō)年的精密機(jī)械設計、加工、裝配等專 業經驗,瑞邦精控從設計上(shàng)研究高壓氣體流動規律、壓力分布、轉台精(jīng)度分離方法等問題。從壓力(lì)分布、氣源壓力、節流器、均壓槽深等方麵(miàn),確定了高壓氣(qì)膜剛度下各參(cān)數的範圍。在氣浮台研製中的關鍵技(jì)術突破,為高(gāo)精度零件加工、檢測、超精密加工工具的開發奠定了技術基礎。完成了氣(qì)浮平台的設計與製造,並在100nm範(fàn)圍內實現了1角秒的定位精度(dù)。